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Mikrostrukturierung

Die Mikrostrukturierung ist ein Verfahren zur Erzeugung kleinster und sehr filigraner Strukturen für Anwendungen der Mikrotechnik. Hierfür werden unterschiedliche Materialien wie Stahl, Keramik, Hartmetalle, Kunststoffe als auch Verbundwerkstoffe mittels Mikrofunkenerosion oder Laserablation bearbeitet. Der Vorteil der Laserstrukturierung ist die, im Vergleich zu erodierten Werkstücken, bessere Oberflächenqualität. Bei der Laserablation können schmelzfreie Oberflächen erzeugt werden, deren Rauwerte in einem Bereich von Ra < 0,5 μm liegen. In der Industrie wird vor allem der Nanosekundenlaser für entsprechende Fertigung eingesetzt. Der Vorteil des Nanosekundenlaser ist, dass auch selektive Abträge von z.B. Metallschichten auf Kunststoff oder Keramik möglich sind sowie Schichtabtrag bei z.B. Piezokeramik oder Saphir.

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