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Abdampfrate

Die Abdampfrate bzw. Verdampfungsrate beschreibt die Menge abgedampften Materials pro Zeiteinheit beim thermischen Ab- bzw. Verdampfen. Beim thermischen Abdampfen wird ein Ausgangsstoff mittels Widerstandsheizer, wie beispielsweise ein Aufdampfschiffchen, oder eines Induktionsheizers, in Verbindung mit einem entsprechenden hitzefesten Keramiktiegel, auf Temperaturen nahe des Siedepunktes gebracht. Bei diesem Vorgang verdampft der Ausgangsstoff und die freigewordenen Atome bzw. Moleküle schlagen sich auf dem, sich in der Vakuumkammer gegenüber befindlichen, Substrat nieder und bilden eine dünne Schicht. Die Kondensation des Materialdampfes auf dem Substrat, ist durch ein, im Vergleich zur Umgebungstemperatur, kühleres Substrat gewährleistet.

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